1 、绿的谐波(688017)
持股市值：67228万，持股比例：1.96 %，变动情况：新进

2 、双环传动(002472)
持股市值：63036万，持股比例：2.06 %，变动情况：新进

3 、埃斯顿(002747)
持股市值：45784万，持股比例：2.36 %，变动情况：53.71万

4 、机器人(300024)
持股市值：44390万，持股比例：1.93 %，变动情况：新进

5 、昊志机电(300503)
持股市值：42560万，持股比例：2.66 %，变动情况：537.28万

6 、科沃斯(603486)
持股市值：40948万，持股比例：1.16 %，变动情况：新进

7 、富临精工(300432)
持股市值：40685万，持股比例：1.03 %，变动情况：新进

8 、领益智造(002600)
持股市值：39396万，持股比例：0.42 %，变动情况：165.23万

9 、拓斯达(300607)
持股市值：38760万，持股比例：3.23 %，变动情况：10.14万

10 、兆威机电(003021)
持股市值：38293万，持股比例：1.49 %，变动情况：32.11万

11 、石头科技(688169)
持股市值：38253万，持股比例：1.23 %，变动情况：新进

12 、中信重工(601608)
持股市值：37772万，持股比例：1.33 %，变动情况：170.01万

13 、奥比中光-UW(688322)
持股市值：36421万，持股比例：1.21 %，变动情况：5.79万

14 、南网科技(688248)
持股市值：33354万，持股比例：1.02 %，变动情况：16.48万

15 、鸣志电器(603728)
持股市值：32265万，持股比例：1.35 %，变动情况：新进

16 、盈峰环境(000967)
持股市值：31050万，持股比例：1.15 %，变动情况：新进

17 、雷赛智能(002979)
持股市值：29904万，持股比例：2.67 %，变动情况：新进

18 、航天智装(300455)
持股市值：29050万，持股比例：1.66 %，变动情况：35.43万

19 、中大力德(002896)
持股市值：27783万，持股比例：1.89 %，变动情况：新进

20 、三丰智能(300276)
持股市值：26772万，持股比例：2.76 %，变动情况：2441.42万

21 、拓邦股份(002139)
持股市值：26250万，持股比例：1.75 %，变动情况：新进

22 、固高科技(301510)
持股市值：26040万，持股比例：2.17 %，变动情况：新进

23 、天智航-U(688277)
持股市值：24752万，持股比例：2.38 %，变动情况：新进

24 、科力尔(002892)
持股市值：23490万，持股比例：2.90 %，变动情况：37.27万

25 、奥普光电(002338)
持股市值：23278万，持股比例：2.06 %，变动情况：新进

26 、丰立智能(301368)
持股市值：22932万，持股比例：3.64 %，变动情况：195.91万

27 、汉威科技(300007)
持股市值：22218万，持股比例：1.61 %，变动情况：新进

28 、贝斯特(300580)
持股市值：17741万，持股比例：1.57 %，变动情况：22.92万

29 、埃夫特-U(688165)
持股市值：17200万，持股比例：2.00 %，变动情况：278.13万

30 、凌云光(688400)
持股市值：16560万，持股比例：0.92 %，变动情况：新进

31 、信捷电气(603416)
持股市值：15732万，持股比例：2.07 %，变动情况：27.79万

32 、科大智能(300222)
持股市值：14608万，持股比例：1.76 %，变动情况：-979.76万

33 、禾川科技(688320)
持股市值：13754万，持股比例：2.99 %，变动情况：新进

34 、华中数控(300161)
持股市值：13255万，持股比例：2.41 %，变动情况：新进

35 、柯力传感(603662)
持股市值：12865万，持股比例：0.83 %，变动情况：新进

36 、瑞松科技(688090)
持股市值：12060万，持股比例：2.01 %，变动情况：新进

37 、国茂股份(603915)
持股市值：11446万，持股比例：1.18 %，变动情况：新进

38 、金奥博(002917)
持股市值：11374万，持股比例：2.42 %，变动情况：528.28万

39 、步科股份(688160)
持股市值：11280万，持股比例：1.20 %，变动情况：11.87万

40 、赛摩智能(300466)
持股市值：9476万，持股比例：2.06 %，变动情况：773.32万

41 、利元亨(688499)
持股市值：8690万，持股比例：1.10 %，变动情况：新进

42 、弘讯科技(603015)
持股市值：8134万，持股比例：1.66 %，变动情况：563.78万

43 、克来机电(603960)
持股市值：5936万，持股比例：1.12 %，变动情况：新进

44 、奥普特(688686)
持股市值：5500万，持股比例：0.50 %，变动情况：9600.00

45 、迈赫股份(301199)
持股市值：4956万，持股比例：1.18 %，变动情况：新进

46 、格灵深瞳(688207)
持股市值：4716万，持股比例：1.31 %，变动情况：新进

47 、鼎智科技(920593)
持股市值：4320万，持股比例：0.90 %，变动情况：新进

48 、江苏北人(688218)
持股市值：4116万，持股比例：1.47 %，变动情况：新进