1 、科大讯飞(002230)
持股市值：175152万，持股比例：1.64 %，变动情况：670.27万

2 、拓普集团(601689)
持股市值：153972万，持股比例：1.56 %，变动情况：新进

3 、大族激光(002008)
持股市值：152702万，持股比例：2.42 %，变动情况：433.56万

4 、大华股份(002236)
持股市值：142932万，持股比例：2.58 %，变动情况：1017.67万

5 、中控技术(688777)
持股市值：122910万，持股比例：2.41 %，变动情况：143.97万

6 、双环传动(002472)
持股市值：75582万，持股比例：2.47 %，变动情况：348.68万

7 、云天励飞-U(688343)
持股市值：69412万，持股比例：2.59 %，变动情况：127.90万

8 、石头科技(688169)
持股市值：68420万，持股比例：2.20 %，变动情况：106.51万

9 、奥比中光-UW(688322)
持股市值：58093万，持股比例：1.93 %，变动情况：11.95万

10 、绿的谐波(688017)
持股市值：56595万，持股比例：1.65 %，变动情况：56.57万

11 、拓邦股份(002139)
持股市值：54600万，持股比例：3.64 %，变动情况：470.06万

12 、机器人(300024)
持股市值：51520万，持股比例：2.24 %，变动情况：645.62万

13 、巨轮智能(002031)
持股市值：43368万，持股比例：3.12 %，变动情况：1130.76万

14 、埃斯顿(002747)
持股市值：40546万，持股比例：2.09 %，变动情况：203.64万

15 、科沃斯(603486)
持股市值：39183万，持股比例：1.11 %，变动情况：116.62万

16 、拓斯达(300607)
持股市值：37200万，持股比例：3.10 %，变动情况：124.89万

17 、中信重工(601608)
持股市值：35784万，持股比例：1.26 %，变动情况：688.56万

18 、博杰股份(002975)
持股市值：32092万，持股比例：2.84 %，变动情况：38.96万

19 、南网科技(688248)
持股市值：30738万，持股比例：0.94 %，变动情况：63.67万

20 、盈峰环境(000967)
持股市值：29700万，持股比例：1.10 %，变动情况：651.26万

21 、海目星(688559)
持股市值：26499万，持股比例：2.19 %，变动情况：125.73万

22 、鸣志电器(603728)
持股市值：26290万，持股比例：1.10 %，变动情况：86.16万

23 、雷赛智能(002979)
持股市值：25872万，持股比例：2.31 %，变动情况：94.88万

24 、科大智能(300222)
持股市值：25481万，持股比例：3.07 %，变动情况：234.70万

25 、中大力德(002896)
持股市值：24255万，持股比例：1.65 %，变动情况：60.60万

26 、新时达(002527)
持股市值：21449万，持股比例：2.41 %，变动情况：238.63万

27 、三丰智能(300276)
持股市值：21243万，持股比例：2.19 %，变动情况：432.22万

28 、江苏雷利(300660)
持股市值：20790万，持股比例：1.10 %，变动情况：91.99万

29 、秦川机床(000837)
持股市值：20628万，持股比例：1.91 %，变动情况：236.25万

30 、天智航-U(688277)
持股市值：20072万，持股比例：1.93 %，变动情况：162.85万

31 、丰立智能(301368)
持股市值：19845万，持股比例：3.15 %，变动情况：41.43万

32 、科力尔(002892)
持股市值：19683万，持股比例：2.43 %，变动情况：148.62万

33 、博众精工(688097)
持股市值：19588万，持股比例：0.83 %，变动情况：68.98万

34 、华辰装备(300809)
持股市值：19404万，持股比例：2.31 %，变动情况：65.21万

35 、东杰智能(300486)
持股市值：17985万，持股比例：1.65 %，变动情况：146.68万

36 、科远智慧(002380)
持股市值：17242万，持股比例：2.33 %，变动情况：61.71万

37 、伟创电气(688698)
持股市值：15587万，持股比例：1.09 %，变动情况：43.43万

38 、天准科技(688003)
持股市值：15481万，持股比例：1.37 %，变动情况：49.71万

39 、亚威股份(002559)
持股市值：15000万，持股比例：3.00 %，变动情况：282.63万

40 、晶品特装(688084)
持股市值：14259万，持股比例：2.91 %，变动情况：20.81万

41 、夏厦精密(001306)
持股市值：14018万，持股比例：3.26 %，变动情况：9.59万

42 、步科股份(688160)
持股市值：12690万，持股比例：1.35 %，变动情况：39.57万

43 、华昌达(300278)
持股市值：12545万，持股比例：1.93 %，变动情况：510.66万

44 、科德数控(688305)
持股市值：12525万，持股比例：1.67 %，变动情况：41.05万

45 、科瑞技术(002957)
持股市值：12320万，持股比例：1.10 %，变动情况：86.39万

46 、埃夫特-U(688165)
持股市值：12126万，持股比例：1.41 %，变动情况：161.21万

47 、均普智能(688306)
持股市值：12100万，持股比例：1.10 %，变动情况：252.72万

48 、信捷电气(603416)
持股市值：11932万，持股比例：1.57 %，变动情况：新进

49 、燕麦科技(688312)
持股市值：11385万，持股比例：1.65 %，变动情况：44.85万

50 、华中数控(300161)
持股市值：10835万，持股比例：1.97 %，变动情况：71.49万

51 、国茂股份(603915)
持股市值：10670万，持股比例：1.10 %，变动情况：135.34万

52 、禾川科技(688320)
持股市值：10350万，持股比例：2.25 %，变动情况：46.57万

53 、奥普特(688686)
持股市值：10340万，持股比例：0.94 %，变动情况：15.00万

54 、华东数控(002248)
持股市值：10175万，持股比例：2.75 %，变动情况：158.09万

55 、瑞松科技(688090)
持股市值：9960万，持股比例：1.66 %，变动情况：36.98万

56 、矩子科技(300802)
持股市值：9950万，持股比例：1.99 %，变动情况：74.35万

57 、快克智能(603203)
持股市值：9790万，持股比例：1.10 %，变动情况：51.20万

58 、海得控制(002184)
持股市值：9680万，持股比例：2.42 %，变动情况：108.57万

59 、迈赫股份(301199)
持股市值：9030万，持股比例：2.15 %，变动情况：28.80万

60 、亿嘉和(603666)
持股市值：8964万，持股比例：1.66 %，变动情况：63.73万

61 、克来机电(603960)
持股市值：8798万，持股比例：1.66 %，变动情况：80.88万

62 、弘讯科技(603015)
持股市值：6762万，持股比例：1.38 %，变动情况：103.86万

63 、景业智能(688290)
持股市值：6533万，持股比例：1.39 %，变动情况：23.78万

64 、宏英智能(001266)
持股市值：6336万，持股比例：1.98 %，变动情况：21.20万

65 、江苏北人(688218)
持股市值：6160万，持股比例：2.20 %，变动情况：48.78万

66 、派斯林(600215)
持股市值：6045万，持股比例：1.95 %，变动情况：166.39万

67 、金自天正(600560)
持股市值：6016万，持股比例：1.88 %，变动情况：50.01万

68 、瀚川智能(688022)
持股市值：4825万，持股比例：1.93 %，变动情况：63.23万

69 、凯尔达(688255)
持股市值：4814万，持股比例：1.66 %，变动情况：33.37万

70 、信邦智能(301112)
持股市值：3960万，持股比例：1.10 %，变动情况：22.67万