南方财经12月22日电，半导体设备股震荡走强，联动科技、中科飞测、拓荆科技涨超6%，均创历史新高，此前珂玛科技20cm涨停，京仪装备、长川科技、天玑科技、华峰测控涨幅靠前。
（文章来源：南方财经网）