上证报中国证券网讯 1月21日午后，光刻机概念股震荡走强，截至14时20分，百傲化学涨停，芯碁微装涨逾16%，茂莱光学涨近10%，波长光电等跟涨。江化微、沃格光电此前涨停。
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（文章来源：上海证券报·中国证券网）