截至2026年02月25日 13:07，半导体设备ETF万家(159327)上涨4.96%，最新价报2.306元，换手率5.10%。

　　半导体设备ETF万家(159327)紧密跟踪半导体材料设备指数。半导体设备ETF万家（159327）前十大权重股中，北方华创涨2.37%，中微公司涨5.68%，拓荆科技涨11.06%，长川科技涨5.51%，沪硅产业涨5.31%，华海清科涨5.89%，中科飞测涨3.95%，南大光电涨3.4%，安集科技涨4.64%，芯源微涨6.37%。中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
　　数据显示，半导体设备ETF万家(159327)最新规模达11.15亿元，最新份额达5.08亿份。
　　最新数据显示，半导体材料设备指数前十大权重股分别为中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科、中科飞测、沪硅产业、南大光电、芯源微、安集科技。
　　半导体设备ETF万家(159327)，场外联接 (023828.OF,023829.OF）