截至14:02，半导体设备ETF万家(159327)上涨2.06%。

　　半导体设备ETF万家(159327)紧密跟踪半导体材料设备指数。半导体设备ETF万家（159327）前十大权重股中，北方华创涨2%，中微公司涨2.44%，拓荆科技涨3.6%，长川科技涨5.07%，沪硅产业跌0.69%，华海清科涨2.79%，中科飞测跌0.01%，南大光电涨1.22%，安集科技涨2.68%，芯源微涨0.71%。
　　半导体设备ETF万家(159327)跟踪中证半导体材料设备主题指数，备受资金青睐，近5日资金净流入近2500万。
　　外盘方面，近日美股存储芯片股普涨，费城半导体指数3月16日涨1.96%，存储芯片巨头美光科技3连涨，17日股价大涨4.5%，推升美光公司的市值突破了5000亿美元的市值大关，创下历史新高。