截至12月20日收盘，光刻机概念上涨3.63%，位居概念板块涨幅第5，板块内，33股上涨，茂莱光学、富乐德、新莱应材等涨幅居前，分别上涨11.63%、8.77%、7.69%。
　　今日涨跌幅居前的概念板块
概念今日涨跌幅（%）概念今日涨跌幅（%）拼多多概念4.68煤炭概念-1.07铜缆高速连接3.92同花顺中特估100-0.80AI眼镜3.66草甘膦-0.79国家大基金持股3.65水泥概念-0.77光刻机3.63抽水蓄能-0.70MCU芯片3.48同花顺出海50-0.58存储芯片3.09航运概念-0.53汽车芯片2.92天津自贸区-0.50先进封装2.87中字头股票-0.49ERP概念2.82共享单车-0.46　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入5.92亿元，其中，25股获主力资金净流入，7股主力资金净流入超3000万元，净流入资金居首的是晶方科技，今日主力资金净流入1.50亿元，净流入资金居前的还有张江高科、新莱应材、茂莱光学等，主力资金分别净流入6780.73万元、6096.00万元、5820.02万元。
　　资金流入比率方面，百傲化学、新莱应材、赛微电子等流入比率居前，主力资金净流入率分别为9.44%、9.35%、8.01%。（数据宝）
　　光刻机概念资金流入榜
代码简称今日涨跌幅（%）今日换手率（%） 主力资金流量（万元）主力资金净流入比率（%）603005晶方科技3.6811.4915043.206.91600895张江高科3.363.236780.734.82300260新莱应材7.698.336096.009.35688502茂莱光学11.6319.685820.027.66300456赛微电子2.924.544238.108.01301297富乐德8.7718.343745.152.91603360百傲化学6.273.083369.039.44600619海立股份2.355.662909.755.17300293蓝英装备2.465.072208.705.91300786国林科技4.7613.292030.596.38300691联合光电3.0310.761910.534.21688409富创精密3.723.111537.234.62301611珂玛科技4.5112.471132.732.57600353旭光电子2.862.811056.315.55301421波长光电3.9410.14928.803.72603297永新光学6.423.93905.272.24688630芯碁微装2.711.76614.334.21002889东方嘉盛2.483.71545.273.85003043华亚智能2.672.78412.186.70300990同飞股份0.397.36372.481.61002549凯美特气1.761.29270.314.39688167炬光科技3.394.46211.761.07688376美埃科技2.801.77200.036.19003031中瓷电子4.622.4687.980.39301568思泰克2.5613.2455.500.23603738泰晶科技2.303.31-35.73-0.17688268华特气体2.021.23-52.40-0.70688199久日新材2.151.40-126.59-3.38300331苏大维格4.147.52-179.37-0.49600850电科数字0.631.80-333.20-1.26300219鸿利智汇1.753.06-557.29-3.17002008大族激光0.692.52-690.99-1.06688195腾景科技4.457.44-1314.25-3.26（文章来源：证券时报网）