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盛美上海单晶圆高温SPM设备通过验证
2025-03-04 08:18:00


　　盛美上海宣布。其单晶圆中/高温硫酸过氧化混合物（SPM）设备已成功通过一家逻辑芯片制造商的大批量制造验证。截止目前，该设备已交付了13家客户。

（文章来源：科创板日报）
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