聚辰股份(688123)
持股比例：2.16 %，持股数量：340.18万，变动情况：82.23万

聚辰股份(688123)
持股比例：2.16 %，持股数量：340.18万，变动情况：82.23万

天德钰(688252)
持股比例：2.03 %，持股数量：370.99万，变动情况：新进

芯海科技(688595)
持股比例：1.87 %，持股数量：266.73万，变动情况：-5.65万

芯海科技(688595)
持股比例：1.87 %，持股数量：266.73万，变动情况：-5.65万

颀中科技(688352)
持股比例：1.79 %，持股数量：644.23万，变动情况：-375.98万

智微智能(001339)
持股比例：1.60 %，持股数量：116.80万，变动情况：新进

杰华特(688141)
持股比例：1.57 %，持股数量：411.72万，变动情况：新进

东微半导(688261)
持股比例：1.36 %，持股数量：112.21万，变动情况：新进

普冉股份(688766)
持股比例：1.25 %，持股数量：132.50万，变动情况：32.52万

普冉股份(688766)
持股比例：1.25 %，持股数量：132.50万，变动情况：新进

麒麟信安(688152)
持股比例：1.04 %，持股数量：31.55万，变动情况：新进

天德钰(688252)
持股比例：0.91 %，持股数量：370.99万，变动情况：新进

骏成科技(301106)
持股比例：0.89 %，持股数量：25.99万，变动情况：新进

隆利科技(300752)
持股比例：0.81 %，持股数量：124.90万，变动情况：新进

晶丰明源(688368)
持股比例：0.75 %，持股数量：66.30万，变动情况：-88.71万

晶丰明源(688368)
持股比例：0.75 %，持股数量：66.30万，变动情况：-88.71万

艾森股份(688720)
持股比例：0.73 %，持股数量：12.85万，变动情况：-12.16万

美格智能(002881)
持股比例：0.63 %，持股数量：114.86万，变动情况：不变

新坐标(603040)
持股比例：0.58 %，持股数量：78.05万，变动情况：新进

新坐标(603040)
持股比例：0.57 %，持股数量：78.05万，变动情况：新进

隆利科技(300752)
持股比例：0.55 %，持股数量：124.90万，变动情况：新进

智微智能(001339)
持股比例：0.47 %，持股数量：116.80万，变动情况：新进

美格智能(002881)
持股比例：0.44 %，持股数量：114.86万，变动情况：不变

诚迈科技(300598)
持股比例：0.40 %，持股数量：86.34万，变动情况：新进

诚迈科技(300598)
持股比例：0.40 %，持股数量：86.34万，变动情况：新进

道恩股份(002838)
持股比例：0.38 %，持股数量：149.19万，变动情况：新进

深科技(000021)
持股比例：0.37 %，持股数量：577.96万，变动情况：-153.56万

道恩股份(002838)
持股比例：0.33 %，持股数量：149.19万，变动情况：新进

雷柏科技(002577)
持股比例：0.23 %，持股数量：66.06万，变动情况：新进

雷柏科技(002577)
持股比例：0.23 %，持股数量：66.06万，变动情况：新进