1 、罗博特科(300757)
持股市值：224334万，持股比例：2.06 %，变动情况：新进

2 、天孚通信(300394)
持股市值：177100万，持股比例：0.50 %，变动情况：-321.16万

3 、长光华芯(688048)
持股市值：171458万，持股比例：2.59 %，变动情况：新进

4 、永鼎股份(600105)
持股市值：156702万，持股比例：1.82 %，变动情况：-15.90万

5 、生益科技(600183)
持股市值：143814万，持股比例：0.33 %，变动情况：-797.41万

6 、东田微(301183)
持股市值：127281万，持股比例：6.27 %，变动情况：新进

7 、英维克(002837)
持股市值：110094万，持股比例：1.18 %，变动情况：-148.13万

8 、仕佳光子(688313)
持股市值：106352万，持股比例：1.36 %，变动情况：-228.81万

9 、光库科技(300620)
持股市值：79218万，持股比例：0.81 %，变动情况：-187.62万

10 、可川科技(603052)
持股市值：76368万，持股比例：4.44 %，变动情况：新进

11 、中石科技(300684)
持股市值：69373万，持股比例：4.01 %，变动情况：244.28万

12 、慧辰股份(688500)
持股市值：19734万，持股比例：5.06 %，变动情况：新进

13 、万兴科技(300624)
持股市值：14070万，持股比例：1.34 %，变动情况：新进