唯捷创芯(688153)
持股比例：7.85 %，持股数量：893.01万，变动情况：不变

茂莱光学(688502)
持股比例：6.79 %，持股数量：110.14万，变动情况：不变

盛美上海(688082)
持股比例：6.04 %，持股数量：458.28万，变动情况：42.47万

中科飞测(688361)
持股比例：5.54 %，持股数量：1351.47万，变动情况：106.14万

华大九天(301269)
持股比例：4.35 %，持股数量：1140.88万，变动情况：121.14万

中科飞测(688361)
持股比例：4.22 %，持股数量：1351.47万，变动情况：106.14万

达梦数据(688692)
持股比例：3.81 %，持股数量：54.43万，变动情况：16.34万

圣邦股份(300661)
持股比例：3.47 %，持股数量：1570.36万，变动情况：不变

芯原股份(688521)
持股比例：3.34 %，持股数量：1644.43万，变动情况：不变

圣邦股份(300661)
持股比例：3.33 %，持股数量：1570.36万，变动情况：不变

芯原股份(688521)
持股比例：3.29 %，持股数量：1644.43万，变动情况：不变

兆易创新(603986)
持股比例：2.19 %，持股数量：1453.42万，变动情况：不变

兆易创新(603986)
持股比例：2.18 %，持股数量：1453.42万，变动情况：不变

茂莱光学(688502)
持股比例：2.09 %，持股数量：110.14万，变动情况：不变

唯捷创芯(688153)
持股比例：2.08 %，持股数量：893.01万，变动情况：不变

沪硅产业(688126)
持股比例：2.06 %，持股数量：5613.37万，变动情况：不变

沪硅产业(688126)
持股比例：2.04 %，持股数量：5613.37万，变动情况：不变

拓荆科技(688072)
持股比例：2.01 %，持股数量：309.34万，变动情况：新进

索辰科技(688507)
持股比例：1.93 %，持股数量：87.83万，变动情况：新进

卓胜微(300782)
持股比例：1.92 %，持股数量：858.64万，变动情况：-338.61万

中微公司(688012)
持股比例：1.27 %，持股数量：786.72万，变动情况：不变

中微公司(688012)
持股比例：1.27 %，持股数量：786.72万，变动情况：不变

深科技(000021)
持股比例：1.07 %，持股数量：1663.44万，变动情况：-631.46万

盛美上海(688082)
持股比例：1.05 %，持股数量：458.28万，变动情况：42.47万

华懋科技(603306)
持股比例：0.93 %，持股数量：304.83万，变动情况：新进

华懋科技(603306)
持股比例：0.93 %，持股数量：304.83万，变动情况：新进

中国软件(600536)
持股比例：0.52 %，持股数量：440.18万，变动情况：新进

中国软件(600536)
持股比例：0.52 %，持股数量：440.18万，变动情况：新进