1 、中微公司(688012)
持股市值：448350万，持股比例：1.50 %，变动情况：新进

2 、中船特气(688146)
持股市值：427500万，持股比例：2.50 %，变动情况：179.40万

3 、北方华创(002371)
持股市值：375144万，持股比例：0.77 %，变动情况：新进

4 、长川科技(300604)
持股市值：315675万，持股比例：2.07 %，变动情况：497.99万

5 、拓荆科技(688072)
持股市值：252144万，持股比例：1.36 %，变动情况：新进

6 、江丰电子(300666)
持股市值：174105万，持股比例：2.19 %，变动情况：新进

7 、沪硅产业(688126)
持股市值：164160万，持股比例：1.60 %，变动情况：新进

8 、中科飞测(688361)
持股市值：162892万，持股比例：1.93 %，变动情况：新进

9 、华海清科(688120)
持股市值：159200万，持股比例：1.60 %，变动情况：新进

10 、雅克科技(002409)
持股市值：133824万，持股比例：2.04 %，变动情况：318.67万

11 、珂玛科技(301611)
持股市值：133332万，持股比例：2.71 %，变动情况：新进

12 、南大光电(300346)
持股市值：104682万，持股比例：2.39 %，变动情况：777.47万

13 、华峰测控(688200)
持股市值：101760万，持股比例：1.60 %，变动情况：新进

14 、中巨芯-U(688549)
持股市值：101218万，持股比例：2.29 %，变动情况：667.35万

15 、芯源微(688037)
持股市值：99736万，持股比例：1.82 %，变动情况：新进

16 、立昂微(605358)
持股市值：91910万，持股比例：1.82 %，变动情况：新进

17 、安集科技(688019)
持股市值：81620万，持股比例：1.54 %，变动情况：134.20万

18 、天岳先进(688234)
持股市值：68882万，持股比例：1.01 %，变动情况：新进

19 、盛美上海(688082)
持股市值：66838万，持股比例：0.46 %，变动情况：新进

20 、富创精密(688409)
持股市值：66120万，持股比例：1.14 %，变动情况：新进

21 、上海新阳(300236)
持股市值：56027万，持股比例：1.79 %，变动情况：新进

22 、有研新材(600206)
持股市值：52960万，持股比例：1.60 %，变动情况：664.07万

23 、京仪装备(688652)
持股市值：47880万，持股比例：1.90 %，变动情况：113.17万

24 、晶瑞电材(300655)
持股市值：41678万，持股比例：2.29 %，变动情况：1204.95万

25 、华海诚科(688535)
持股市值：37232万，持股比例：2.08 %，变动情况：55.00万

26 、联动科技(301369)
持股市值：35024万，持股比例：1.76 %，变动情况：新进

27 、上海合晶(688584)
持股市值：26334万，持股比例：1.33 %，变动情况：223.70万

28 、神工股份(688233)
持股市值：25893万，持股比例：1.37 %，变动情况：115.00万

29 、广立微(301095)
持股市值：25212万，持股比例：1.32 %，变动情况：新进

30 、江化微(603078)
持股市值：24797万，持股比例：1.37 %，变动情况：261.36万

31 、矽电股份(301629)
持股市值：23680万，持股比例：1.48 %，变动情况：15.30万

32 、艾森股份(688720)
持股市值：22750万，持股比例：2.50 %，变动情况：65.56万

33 、有研硅(688432)
持股市值：21760万，持股比例：0.68 %，变动情况：422.57万

34 、至纯科技(603690)
持股市值：20020万，持股比例：1.82 %，变动情况：344.49万

35 、康强电子(002119)
持股市值：15875万，持股比例：1.27 %，变动情况：-121.04万

36 、晶升股份(688478)
持股市值：13464万，持股比例：1.53 %，变动情况：新进

37 、中晶科技(003026)
持股市值：12012万，持股比例：1.82 %，变动情况：84.67万

38 、龙图光罩(688721)
持股市值：11730万，持股比例：1.70 %，变动情况：48.77万

39 、三佳科技(600520)
持股市值：8736万，持股比例：1.82 %，变动情况：145.31万