1 、绿的谐波(688017)
持股市值：175260万，持股比例：2.54 %，变动情况：20.90万

2 、双环传动(002472)
持股市值：86040万，持股比例：2.39 %，变动情况：85.75万

3 、机器人(300024)
持股市值：74465万，持股比例：2.65 %，变动情况：200.79万

4 、昊志机电(300503)
持股市值：73950万，持股比例：2.90 %，变动情况：34.56万

5 、埃斯顿(002747)
持股市值：72488万，持股比例：2.21 %，变动情况：95.60万

6 、奥比中光-W(688322)
持股市值：65190万，持股比例：1.23 %，变动情况：18.27万

7 、拓斯达(300607)
持股市值：58820万，持股比例：3.40 %，变动情况：56.75万

8 、震裕科技(300953)
持股市值：50170万，持股比例：1.45 %，变动情况：8.10万

9 、雷赛智能(002979)
持股市值：49098万，持股比例：2.94 %，变动情况：32.75万

10 、领益智造(002600)
持股市值：47027万，持股比例：0.41 %，变动情况：-14.48万

11 、富临精工(300432)
持股市值：46345万，持股比例：1.15 %，变动情况：97.72万

12 、石头科技(688169)
持股市值：45240万，持股比例：1.74 %，变动情况：-25.28万

13 、固高科技(301510)
持股市值：43992万，持股比例：3.12 %，变动情况：41.72万

14 、盈峰环境(000967)
持股市值：43500万，持股比例：1.25 %，变动情况：194.12万

15 、鸣志电器(603728)
持股市值：43065万，持股比例：1.65 %，变动情况：32.15万

16 、科沃斯(603486)
持股市值：40704万，持股比例：1.28 %，变动情况：35.36万

17 、拓普集团(601689)
持股市值：40090万，持股比例：0.38 %，变动情况：新进

18 、兆威机电(003021)
持股市值：36418万，持股比例：1.39 %，变动情况：16.48万

19 、三丰智能(300276)
持股市值：34944万，持股比例：3.12 %，变动情况：169.41万

20 、南网科技(688248)
持股市值：34452万，持股比例：1.08 %，变动情况：28.83万

21 、中信重工(601608)
持股市值：33258万，持股比例：1.38 %，变动情况：305.30万

22 、中大力德(002896)
持股市值：32390万，持股比例：2.05 %，变动情况：19.33万

23 、奥普光电(002338)
持股市值：30191万，持股比例：2.27 %，变动情况：28.37万

24 、航天智装(300455)
持股市值：28525万，持股比例：1.75 %，变动情况：61.03万

25 、凌云光(688400)
持股市值：25920万，持股比例：0.90 %，变动情况：-23.86万

26 、科力尔(002892)
持股市值：23166万，持股比例：2.97 %，变动情况：69.25万

27 、汉威科技(300007)
持股市值：23100万，持股比例：1.75 %，变动情况：23.42万

28 、拓邦股份(002139)
持股市值：22816万，持股比例：1.84 %，变动情况：96.18万

29 、天智航-U(688277)
持股市值：22794万，持股比例：2.62 %，变动情况：55.40万

30 、丰立智能(301368)
持股市值：21340万，持股比例：3.88 %，变动情况：13.54万

31 、埃夫特-U(688165)
持股市值：20758万，持股比例：1.94 %，变动情况：-33.62万

32 、科大智能(300222)
持股市值：20646万，持股比例：1.86 %，变动情况：57.44万

33 、贝斯特(300580)
持股市值：19588万，持股比例：1.66 %，变动情况：44.79万

34 、信捷电气(603416)
持股市值：17574万，持股比例：2.02 %，变动情况：-6.86万

35 、柯力传感(603662)
持股市值：17460万，持股比例：0.90 %，变动情况：13.35万

36 、华中数控(300161)
持股市值：16443万，持股比例：2.61 %，变动情况：25.98万

37 、博实股份(002698)
持股市值：16422万，持股比例：1.38 %，变动情况：59.30万

38 、国茂股份(603915)
持股市值：15012万，持股比例：1.39 %，变动情况：43.19万

39 、禾川科技(688320)
持股市值：13920万，持股比例：2.40 %，变动情况：-2.96万

40 、步科股份(688160)
持股市值：12546万，持股比例：1.23 %，变动情况：2.87万

41 、金奥博(002917)
持股市值：10742万，持股比例：2.62 %，变动情况：34.09万

42 、利元亨(688499)
持股市值：9954万，持股比例：1.26 %，变动情况：10.44万

43 、奥普特(688686)
持股市值：9882万，持股比例：0.54 %，变动情况：4.91万

44 、赛摩智能(300466)
持股市值：9660万，持股比例：2.30 %，变动情况：55.79万

45 、弘讯科技(603015)
持股市值：9384万，持股比例：1.84 %，变动情况：36.68万

46 、克来机电(603960)
持股市值：6655万，持股比例：1.21 %，变动情况：15.61万

47 、鼎智科技(920593)
持股市值：5626万，持股比例：0.97 %，变动情况：6.23万