1 、双环传动(002472)
持股市值：71894万，持股比例：2.06 %，变动情况：新进

2 、南网科技(688248)
持股市值：62976万，持股比例：2.46 %，变动情况：新进

3 、绿的谐波(688017)
持股市值：55076万，持股比例：1.96 %，变动情况：新进

4 、科沃斯(603486)
持股市值：53708万，持股比例：1.16 %，变动情况：新进

5 、机器人(300024)
持股市值：53075万，持股比例：1.93 %，变动情况：新进

6 、石头科技(688169)
持股市值：50922万，持股比例：1.23 %，变动情况：新进

7 、拓斯达(300607)
持股市值：45966万，持股比例：3.26 %，变动情况：905.76万

8 、埃斯顿(002747)
持股市值：44884万，持股比例：2.29 %，变动情况：1498.96万

9 、奥比中光-UW(688322)
持股市值：39567万，持股比例：1.21 %，变动情况：5.79万

10 、中信重工(601608)
持股市值：39087万，持股比例：1.29 %，变动情况：新进

11 、鸣志电器(603728)
持股市值：38070万，持股比例：1.35 %，变动情况：新进

12 、三丰智能(300276)
持股市值：35604万，持股比例：2.76 %，变动情况：2441.42万

13 、兆威机电(003021)
持股市值：35242万，持股比例：1.34 %，变动情况：新进

14 、固高科技(301510)
持股市值：34720万，持股比例：2.17 %，变动情况：新进

15 、雷赛智能(002979)
持股市值：34710万，持股比例：2.67 %，变动情况：新进

16 、航天智装(300455)
持股市值：33488万，持股比例：1.61 %，变动情况：新进

17 、中大力德(002896)
持股市值：31563万，持股比例：1.89 %，变动情况：新进

18 、科大智能(300222)
持股市值：28797万，持股比例：3.31 %，变动情况：1757.69万

19 、昊志机电(300503)
持股市值：28196万，持股比例：2.66 %，变动情况：537.28万

20 、科力尔(002892)
持股市值：28130万，持股比例：2.90 %，变动情况：37.27万

21 、富临精工(300432)
持股市值：28016万，持股比例：1.03 %，变动情况：新进

22 、汉威科技(300007)
持股市值：26887万，持股比例：1.61 %，变动情况：新进

23 、丰立智能(301368)
持股市值：26208万，持股比例：3.64 %，变动情况：195.91万

24 、奥普光电(002338)
持股市值：25750万，持股比例：2.06 %，变动情况：新进

25 、盈峰环境(000967)
持股市值：25070万，持股比例：1.15 %，变动情况：新进

26 、贝斯特(300580)
持股市值：18544万，持股比例：1.52 %，变动情况：600.59万

27 、凌云光(688400)
持股市值：16560万，持股比例：0.92 %，变动情况：新进

28 、天智航-U(688277)
持股市值：16422万，持股比例：2.38 %，变动情况：新进

29 、信捷电气(603416)
持股市值：15810万，持股比例：1.86 %，变动情况：新进

30 、埃夫特-U(688165)
持股市值：15582万，持股比例：1.47 %，变动情况：新进

31 、禾川科技(688320)
持股市值：14950万，持股比例：2.99 %，变动情况：新进

32 、柯力传感(603662)
持股市值：14774万，持股比例：0.83 %，变动情况：新进

33 、华中数控(300161)
持股市值：13737万，持股比例：2.41 %，变动情况：新进

34 、国茂股份(603915)
持股市值：12980万，持股比例：1.18 %，变动情况：新进

35 、金奥博(002917)
持股市值：11132万，持股比例：2.42 %，变动情况：528.28万

36 、赛摩智能(300466)
持股市值：11124万，持股比例：2.06 %，变动情况：773.32万

37 、步科股份(688160)
持股市值：10005万，持股比例：1.15 %，变动情况：新进

38 、利元亨(688499)
持股市值：9570万，持股比例：1.10 %，变动情况：新进

39 、瑞松科技(688090)
持股市值：9246万，持股比例：2.01 %，变动情况：新进

40 、弘讯科技(603015)
持股市值：7470万，持股比例：1.66 %，变动情况：563.78万

41 、奥普特(688686)
持股市值：7050万，持股比例：0.50 %，变动情况：新进

42 、鼎智科技(920593)
持股市值：5760万，持股比例：0.90 %，变动情况：新进

43 、克来机电(603960)
持股市值：5488万，持股比例：1.12 %，变动情况：新进

44 、格灵深瞳(688207)
持股市值：5240万，持股比例：1.31 %，变动情况：新进

45 、迈赫股份(301199)
持股市值：4956万，持股比例：1.18 %，变动情况：新进

46 、江苏北人(688218)
持股市值：3822万，持股比例：1.47 %，变动情况：新进