1 、大族激光(002008)
持股市值：332052万，持股比例：2.36 %，变动情况：-316.47万

2 、汇川技术(300124)
持股市值：211122万，持股比例：1.11 %，变动情况：-331.02万

3 、科大讯飞(002230)
持股市值：204352万，持股比例：2.06 %，变动情况：-631.95万

4 、中控技术(688777)
持股市值：191386万，持股比例：2.21 %，变动情况：-242.93万

5 、拓普集团(601689)
持股市值：144535万，持股比例：1.37 %，变动情况：-333.11万

6 、大华股份(002236)
持股市值：137216万，持股比例：2.56 %，变动情况：-757.67万

7 、绿的谐波(688017)
持股市值：132480万，持股比例：1.92 %，变动情况：-49.24万

8 、奥比中光-W(688322)
持股市值：91690万，持股比例：1.73 %，变动情况：-76.96万

9 、双环传动(002472)
持股市值：89640万，持股比例：2.49 %，变动情况：-261.13万

10 、博杰股份(002975)
持股市值：70965万，持股比例：2.49 %，变动情况：-36.97万

11 、云天励飞-U(688343)
持股市值：68904万，持股比例：2.61 %，变动情况：-96.40万

12 、机器人(300024)
持股市值：61820万，持股比例：2.20 %，变动情况：-481.21万

13 、昊志机电(300503)
持股市值：53805万，持股比例：2.11 %，变动情况：-71.05万

14 、埃斯顿(002747)
持股市值：53464万，持股比例：1.63 %，变动情况：-200.77万

15 、柏楚电子(688188)
持股市值：51700万，持股比例：1.10 %，变动情况：-44.26万

16 、拓斯达(300607)
持股市值：47056万，持股比例：2.72 %，变动情况：-128.28万

17 、巨轮智能(002031)
持股市值：40764万，持股比例：3.16 %，变动情况：-845.02万

18 、石头科技(688169)
持股市值：40040万，持股比例：1.54 %，变动情况：-170.15万

19 、拓邦股份(002139)
持股市值：39680万，持股比例：3.20 %，变动情况：-479.04万

20 、雷赛智能(002979)
持股市值：39078万，持股比例：2.34 %，变动情况：-72.41万

21 、盈峰环境(000967)
持股市值：38280万，持股比例：1.10 %，变动情况：-486.72万

22 、鸣志电器(603728)
持股市值：35757万，持股比例：1.37 %，变动情况：-80.36万

23 、科沃斯(603486)
持股市值：35298万，持股比例：1.11 %，变动情况：-88.90万

24 、固高科技(301510)
持股市值：33276万，持股比例：2.36 %，变动情况：-92.21万

25 、科瑞技术(002957)
持股市值：32154万，持股比例：1.38 %，变动情况：-80.61万

26 、科大智能(300222)
持股市值：29970万，持股比例：2.70 %，变动情况：-239.21万

27 、瑞松科技(688090)
持股市值：29184万，持股比例：1.92 %，变动情况：-32.89万

28 、天准科技(688003)
持股市值：29181万，持股比例：1.37 %，变动情况：-37.19万

29 、三丰智能(300276)
持股市值：28560万，持股比例：2.55 %，变动情况：-376.81万

30 、中信重工(601608)
持股市值：26510万，持股比例：1.10 %，变动情况：-702.36万

31 、南网科技(688248)
持股市值：26158万，持股比例：0.82 %，变动情况：-64.95万

32 、中大力德(002896)
持股市值：26070万，持股比例：1.65 %，变动情况：-45.29万

33 、新时达(002527)
持股市值：22654万，持股比例：2.41 %，变动情况：-178.31万

34 、快克智能(603203)
持股市值：21840万，持股比例：1.12 %，变动情况：-38.94万

35 、秦川机床(000837)
持股市值：21376万，持股比例：1.67 %，变动情况：-235.86万

36 、科远智慧(002380)
持股市值：20880万，持股比例：2.32 %，变动情况：-46.10万

37 、江苏雷利(300660)
持股市值：19690万，持股比例：1.10 %，变动情况：-68.72万

38 、科力尔(002892)
持股市值：19110万，持股比例：2.45 %，变动情况：-171.45万

39 、伟创电气(688698)
持股市值：17399万，持股比例：1.37 %，变动情况：-41.01万

40 、丰立智能(301368)
持股市值：16995万，持股比例：3.09 %，变动情况：-27.67万

41 、天智航-U(688277)
持股市值：16704万，持股比例：1.92 %，变动情况：-122.40万

42 、均普智能(688306)
持股市值：15892万，持股比例：1.37 %，变动情况：-235.79万

43 、奥普特(688686)
持股市值：15006万，持股比例：0.82 %，变动情况：-14.07万

44 、埃夫特-U(688165)
持股市值：14659万，持股比例：1.37 %，变动情况：-19.50万

45 、矩子科技(300802)
持股市值：14400万，持股比例：2.00 %，变动情况：-53.12万

46 、江苏北人(688218)
持股市值：14336万，持股比例：2.24 %，变动情况：-36.29万

47 、华昌达(300278)
持股市值：14208万，持股比例：2.22 %，变动情况：-436.92万

48 、信捷电气(603416)
持股市值：13485万，持股比例：1.55 %，变动情况：-3.32万

49 、夏厦精密(001306)
持股市值：13026万，持股比例：3.34 %，变动情况：-7.23万

50 、华中数控(300161)
持股市值：12348万，持股比例：1.96 %，变动情况：-53.42万

51 、国茂股份(603915)
持股市值：11880万，持股比例：1.10 %，变动情况：-100.86万

52 、步科股份(688160)
持股市值：11220万，持股比例：1.10 %，变动情况：-13.93万

53 、克来机电(603960)
持股市值：10560万，持股比例：1.92 %，变动情况：-70.43万

54 、亿嘉和(603666)
持股市值：9405万，持股比例：1.65 %，变动情况：-47.27万

55 、鼎智科技(920593)
持股市值：9396万，持股比例：1.62 %，变动情况：-36.59万

56 、禾川科技(688320)
持股市值：9280万，持股比例：1.60 %，变动情况：-7.65万

57 、景业智能(688290)
持股市值：9042万，持股比例：1.37 %，变动情况：-19.62万

58 、华东数控(002248)
持股市值：8250万，持股比例：2.75 %，变动情况：-118.14万

59 、迈赫股份(301199)
持股市值：7704万，持股比例：2.14 %，变动情况：-21.51万

60 、弘讯科技(603015)
持股市值：6987万，持股比例：1.37 %，变动情况：-77.24万

61 、派斯林(600215)
持股市值：6600万，持股比例：2.20 %，变动情况：-139.84万

62 、凯尔达(688255)
持股市值：5610万，持股比例：1.65 %，变动情况：-25.13万

63 、晶品特装(688084)
持股市值：5480万，持股比例：1.37 %，变动情况：-14.52万

64 、金自天正(600560)
持股市值：4455万，持股比例：1.65 %，变动情况：-51.41万

65 、信邦智能(301112)
持股市值：3850万，持股比例：1.10 %，变动情况：-16.95万

66 、ST瀚川(688022)
持股市值：2880万，持股比例：1.92 %，变动情况：-47.16万