富创精密(688409)
持股比例：23.90 %，持股数量：4228.57万，变动情况：不变

华曙高科(688433)
持股比例：16.76 %，持股数量：3360.29万，变动情况：-64.35万

中科飞测(688361)
持股比例：14.01 %，持股数量：3421.10万，变动情况：-225.49万

拓荆科技(688072)
持股比例：13.61 %，持股数量：3788.80万，变动情况：不变

长光华芯(688048)
持股比例：10.46 %，持股数量：1041.99万，变动情况：不变

路维光电(688401)
持股比例：9.93 %，持股数量：1148.94万，变动情况：-156.06万

中科飞测(688361)
持股比例：9.46 %，持股数量：3025.98万，变动情况：-174.02万

华曙高科(688433)
持股比例：7.00 %，持股数量：2899.17万，变动情况：-414.18万

长光华芯(688048)
持股比例：5.91 %，持股数量：1041.99万，变动情况：不变

路维光电(688401)
持股比例：5.80 %，持股数量：1121.79万，变动情况：不变

科德数控(688305)
持股比例：5.00 %，持股数量：465.89万，变动情况：不变

科德数控(688305)
持股比例：4.58 %，持股数量：465.89万，变动情况：不变

奇安信-U(688561)
持股比例：3.04 %，持股数量：2085.21万，变动情况：不变

复洁环保(688335)
持股比例：2.39 %，持股数量：353.46万，变动情况：-147.67万