1 、中船特气(688146)
持股市值：450921万，持股比例：2.19 %，变动情况：165.75万

2 、华峰测控(688200)
持股市值：113120万，持股比例：1.40 %，变动情况：新进

3 、中巨芯-U(688549)
持股市值：105200万，持股比例：2.00 %，变动情况：617.11万

4 、芯源微(688037)
持股市值：91266万，持股比例：1.59 %，变动情况：新进

5 、安集科技(688019)
持股市值：76680万，持股比例：1.35 %，变动情况：123.18万

6 、盛美上海(688082)
持股市值：71400万，持股比例：0.40 %，变动情况：新进

7 、京仪装备(688652)
持股市值：41750万，持股比例：1.67 %，变动情况：新进

8 、华海诚科(688535)
持股市值：38796万，持股比例：1.83 %，变动情况：49.89万

9 、欧莱新材(688530)
持股市值：28435万，持股比例：2.35 %，变动情况：82.86万

10 、神工股份(688233)
持股市值：26400万，持股比例：1.20 %，变动情况：新进

11 、上海合晶(688584)
持股市值：22968万，持股比例：1.16 %，变动情况：新进

12 、艾森股份(688720)
持股市值：22236万，持股比例：2.18 %，变动情况：新进

13 、金宏气体(688106)
持股市值：20125万，持股比例：1.15 %，变动情况：新进

14 、有研硅(688432)
持股市值：18720万，持股比例：0.60 %，变动情况：新进

15 、晶升股份(688478)
持股市值：16758万，持股比例：1.33 %，变动情况：新进

16 、新益昌(688383)
持股市值：15200万，持股比例：0.80 %，变动情况：新进

17 、华兴源创(688001)
持股市值：14760万，持股比例：0.40 %，变动情况：92.91万

18 、龙图光罩(688721)
持股市值：10212万，持股比例：1.48 %，变动情况：新进

19 、耐科装备(688419)
持股市值：9234万，持股比例：1.14 %，变动情况：35.40万