1 、中科飞测(688361)
持股市值：224504万，持股比例：2.66 %，变动情况：-232.71万

2 、蘅东光(920045)
持股市值：187110万，持股比例：4.62 %，变动情况：不变

3 、星宸科技(301536)
持股市值：141360万，持股比例：3.04 %，变动情况：-47.53万

4 、华大九天(301269)
持股市值：139551万，持股比例：2.57 %，变动情况：不变

5 、中新赛克(002912)
持股市值：95404万，持股比例：28.06 %，变动情况：不变

6 、芯联集成-U(688469)
持股市值：88844万，持股比例：1.33 %，变动情况：不变

7 、怡合达(301029)
持股市值：54060万，持股比例：2.65 %，变动情况：不变

8 、明阳电气(301291)
持股市值：32248万，持股比例：2.32 %，变动情况：-717.37万

9 、先锋精科(688605)
持股市值：23085万，持股比例：1.35 %，变动情况：新进

10 、首航新能(301658)
持股市值：15120万，持股比例：1.20 %，变动情况：不变

11 、长青科技(001324)
持股市值：12550万，持股比例：5.02 %，变动情况：-41.50万

12 、亿道信息(001314)
持股市值：10660万，持股比例：1.30 %，变动情况：不变

13 、联合动力(301656)
持股市值：9320万，持股比例：0.20 %，变动情况：不变

14 、骏鼎达(301538)
持股市值：8510万，持股比例：1.15 %，变动情况：不变

15 、科瑞思(301314)
持股市值：7360万，持股比例：2.30 %，变动情况：不变

16 、金戈新材(920083)
持股市值：5152万，持股比例：1.12 %，变动情况：不变

17 、箭牌家居(001322)
持股市值：4930万，持股比例：0.85 %，变动情况：不变

18 、美腾科技(688420)
持股市值：4820万，持股比例：2.41 %，变动情况：-2.60万

19 、中瑞股份(301587)
持股市值：4366万，持股比例：1.18 %，变动情况：新进

20 、泓淋电力(301439)
持股市值：4071万，持股比例：0.59 %，变动情况：-20.00万

21 、邦彦技术(688132)
持股市值：2576万，持股比例：1.12 %，变动情况：不变

22 、志高机械(920101)
持股市值：2418万，持股比例：0.93 %，变动情况：不变