三一重能(688349)
持股比例：9.98 %，持股数量：1878.22万，变动情况：38.53万

晶科能源(688223)
持股比例：9.85 %，持股数量：3.06亿，变动情况：6091.46万

盛美上海(688082)
持股比例：8.98 %，持股数量：681.14万，变动情况：27.18万

大全能源(688303)
持股比例：8.93 %，持股数量：4933.38万，变动情况：18.87万

海光信息(688041)
持股比例：8.13 %，持股数量：7209.72万，变动情况：437.97万

华熙生物(688363)
持股比例：7.77 %，持股数量：1540.09万，变动情况：123.93万

华大智造(688114)
持股比例：7.61 %，持股数量：1619.86万，变动情况：26.90万

翱捷科技-U(688220)
持股比例：7.21 %，持股数量：1619.33万，变动情况：30.78万

拓荆科技(688072)
持股比例：7.20 %，持股数量：1108.39万，变动情况：51.35万

百利天恒-U(688506)
持股比例：6.83 %，持股数量：617.51万，变动情况：163.00万

华海清科(688120)
持股比例：6.62 %，持股数量：1125.54万，变动情况：400.58万

佰维存储(688525)
持股比例：6.42 %，持股数量：1982.64万，变动情况：526.80万

航材股份(688563)
持股比例：5.97 %，持股数量：687.67万，变动情况：105.82万

中无人机(688297)
持股比例：5.74 %，持股数量：1558.53万，变动情况：243.22万

和辉光电-U(688538)
持股比例：5.69 %，持股数量：3.27亿，变动情况：1047.35万

九号公司-WD(689009)
持股比例：5.66 %，持股数量：3091.56万，变动情况：新进

中复神鹰(688295)
持股比例：5.65 %，持股数量：816.69万，变动情况：-47.78万

天岳先进(688234)
持股比例：5.04 %，持股数量：1333.72万，变动情况：-4.62万

芯原股份(688521)
持股比例：4.92 %，持股数量：2426.34万，变动情况：65.40万

中控技术(688777)
持股比例：4.91 %，持股数量：3822.27万，变动情况：61.95万

西部超导(688122)
持股比例：4.87 %，持股数量：3163.55万，变动情况：77.77万

西部超导(688122)
持股比例：4.87 %，持股数量：3163.55万，变动情况：77.77万

晶晨股份(688099)
持股比例：4.86 %，持股数量：2035.02万，变动情况：60.16万

石头科技(688169)
持股比例：4.85 %，持股数量：896.38万，变动情况：272.33万

芯原股份(688521)
持股比例：4.85 %，持股数量：2426.34万，变动情况：65.40万

石头科技(688169)
持股比例：4.85 %，持股数量：896.38万，变动情况：272.33万

中微公司(688012)
持股比例：4.84 %，持股数量：3007.99万，变动情况：48.86万

中微公司(688012)
持股比例：4.84 %，持股数量：3007.99万，变动情况：48.86万

澜起科技(688008)
持股比例：4.79 %，持股数量：5467.15万，变动情况：117.90万

澜起科技(688008)
持股比例：4.79 %，持股数量：5467.15万，变动情况：117.90万

华海清科(688120)
持股比例：4.75 %，持股数量：1125.54万，变动情况：400.58万

沪硅产业(688126)
持股比例：4.74 %，持股数量：1.29亿，变动情况：340.75万

沪硅产业(688126)
持股比例：4.69 %，持股数量：1.29亿，变动情况：340.75万

佰维存储(688525)
持股比例：4.60 %，持股数量：1982.64万，变动情况：526.80万

龙芯中科(688047)
持股比例：4.47 %，持股数量：1250.22万，变动情况：5.07万

阿特斯(688472)
持股比例：4.39 %，持股数量：6064.08万，变动情况：2465.05万

联影医疗(688271)
持股比例：4.35 %，持股数量：2582.29万，变动情况：-69.36万

君实生物-U(688180)
持股比例：4.28 %，持股数量：4211.25万，变动情况：369.96万

凯赛生物(688065)
持股比例：4.28 %，持股数量：2495.40万，变动情况：241.42万

格科微(688728)
持股比例：4.24 %，持股数量：6141.82万，变动情况：143.74万

惠泰医疗(688617)
持股比例：4.18 %，持股数量：406.43万，变动情况：新进

惠泰医疗(688617)
持股比例：4.18 %，持股数量：406.43万，变动情况：新进

拓荆科技(688072)
持股比例：3.98 %，持股数量：1108.39万，变动情况：51.35万

华大智造(688114)
持股比例：3.90 %，持股数量：1619.86万，变动情况：26.90万

金山办公(688111)
持股比例：3.88 %，持股数量：1795.78万，变动情况：54.47万

金山办公(688111)
持股比例：3.88 %，持股数量：1795.78万，变动情况：54.47万

奕瑞科技(688301)
持股比例：3.88 %，持股数量：553.71万，变动情况：16.33万

翱捷科技-U(688220)
持股比例：3.87 %，持股数量：1619.33万，变动情况：30.78万

寒武纪-U(688256)
持股比例：3.87 %，持股数量：1613.92万，变动情况：101.35万

寒武纪-U(688256)
持股比例：3.87 %，持股数量：1613.92万，变动情况：101.35万

天合光能(688599)
持股比例：3.83 %，持股数量：8336.29万，变动情况：126.86万

柏楚电子(688188)
持股比例：3.19 %，持股数量：655.95万，变动情况：32.88万

柏楚电子(688188)
持股比例：3.19 %，持股数量：655.95万，变动情况：32.88万

华润微(688396)
持股比例：3.16 %，持股数量：4187.84万，变动情况：145.64万

华润微(688396)
持股比例：3.16 %，持股数量：4187.84万，变动情况：145.64万

联影医疗(688271)
持股比例：3.13 %，持股数量：2582.29万，变动情况：-69.36万

奇安信-U(688561)
持股比例：3.12 %，持股数量：2138.93万，变动情况：34.07万

海光信息(688041)
持股比例：3.10 %，持股数量：7209.72万，变动情况：437.97万

传音控股(688036)
持股比例：3.10 %，持股数量：3504.77万，变动情况：86.14万

传音控股(688036)
持股比例：3.10 %，持股数量：3504.77万，变动情况：86.14万

晶科能源(688223)
持股比例：3.06 %，持股数量：3.06亿，变动情况：6091.46万

复旦微电(688385)
持股比例：2.99 %，持股数量：2452.13万，变动情况：147.68万

复旦微电(688385)
持股比例：2.99 %，持股数量：2452.13万，变动情况：147.68万

萤石网络(688475)
持股比例：2.98 %，持股数量：1206.33万，变动情况：416.43万

晶合集成(688249)
持股比例：2.63 %，持股数量：3097.68万，变动情况：256.55万

时代电气(688187)
持股比例：2.58 %，持股数量：2121.41万，变动情况：116.17万

芯联集成-U(688469)
持股比例：2.45 %，持股数量：1.08亿，变动情况：新进

格科微(688728)
持股比例：2.36 %，持股数量：6141.82万，变动情况：143.74万

中无人机(688297)
持股比例：2.31 %，持股数量：1558.53万，变动情况：新进

大全能源(688303)
持股比例：2.30 %，持股数量：4933.38万，变动情况：18.87万

国博电子(688375)
持股比例：2.11 %，持股数量：560.91万，变动情况：258.26万

中芯国际(688981)
持股比例：2.05 %，持股数量：1.64亿，变动情况：-157.21万

中芯国际(688981)
持股比例：2.05 %，持股数量：1.64亿，变动情况：-157.21万

中国通号(688009)
持股比例：1.96 %，持股数量：2.08亿，变动情况：752.90万

中国通号(688009)
持股比例：1.96 %，持股数量：2.08亿，变动情况：752.90万

阿特斯(688472)
持股比例：1.64 %，持股数量：6064.08万，变动情况：2465.05万

盛美上海(688082)
持股比例：1.56 %，持股数量：681.14万，变动情况：27.18万

百利天恒-U(688506)
持股比例：1.54 %，持股数量：617.51万，变动情况：163.00万

芯联集成-U(688469)
持股比例：1.53 %，持股数量：1.08亿，变动情况：新进

航材股份(688563)
持股比例：1.53 %，持股数量：687.67万，变动情况：105.82万

三一重能(688349)
持股比例：1.53 %，持股数量：1878.22万，变动情况：38.53万

派能科技(688063)
持股比例：1.28 %，持股数量：313.02万，变动情况：-743.88万

派能科技(688063)
持股比例：1.28 %，持股数量：313.02万，变动情况：-743.88万

固德威(688390)
持股比例：1.16 %，持股数量：280.47万，变动情况：-851.97万

固德威(688390)
持股比例：1.16 %，持股数量：280.47万，变动情况：-851.97万

天能股份(688819)
持股比例：1.08 %，持股数量：1047.30万，变动情况：74.06万

天能股份(688819)
持股比例：1.08 %，持股数量：1047.30万，变动情况：74.06万

中复神鹰(688295)
持股比例：0.91 %，持股数量：816.69万，变动情况：-47.78万