《《十大流通股东》》

国家集成电路产业投资基金股份有限公司
持股比例：16.50 %，持股数量：4659.18万 ，变动情况：-567.49万

国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙)
持股比例：13.42 %，持股数量：3788.80万 ，变动情况：不变

中微半导体设备(上海)股份有限公司
持股比例：6.77 %，持股数量：1911.53万 ，变动情况：-140.10万

香港中央结算有限公司
持股比例：4.27 %，持股数量：1205.47万 ，变动情况：442.38万

华夏上证科创板50成份ETF
持股比例：2.07 %，持股数量：583.37万 ，变动情况：-75.46万

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
持股比例：1.52 %，持股数量：428.54万 ，变动情况：不变

国泰中证半导体材料设备主题ETF
持股比例：1.36 %，持股数量：384.46万 ，变动情况：新进

嘉实上证科创板芯片ETF
持股比例：1.25 %，持股数量：353.86万 ，变动情况：-29.64万

易方达上证科创板50ETF
持股比例：1.13 %，持股数量：317.83万 ，变动情况：-299.03万

东方人工智能主题混合A
持股比例：0.92 %，持股数量：259.60万 ，变动情况：新进

《《十大股东》》

国家集成电路产业投资基金股份有限公司
持股比例：16.48 %，持股数量：4659.18万，变动情况：不变

国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙)
持股比例：13.40 %，持股数量：3788.80万，变动情况：不变

中微半导体设备(上海)股份有限公司
持股比例：6.29 %，持股数量：1777.87万，变动情况：-133.66万

实控人：--

最终控制人：--