《《十大流通股东》》

深圳同创锦绣资产管理有限公司-深圳南海成长湾科私募股权投资基金合伙企业(有限合伙)
持股比例：9.13 %，持股数量：488.25万 ，变动情况：不变

上海国方私募基金管理有限公司-上海华虹虹芯私募基金合伙企业(有限合伙)
持股比例：7.10 %，持股数量：379.98万 ，变动情况：-53.65万

厦门市惠友豪嘉股权投资合伙企业(有限合伙)
持股比例：4.84 %，持股数量：259.13万 ，变动情况：-45.83万

王日升
持股比例：2.17 %，持股数量：116.01万 ，变动情况：-8.34万

士兰控股(浙江)有限公司
持股比例：2.10 %，持股数量：112.50万 ，变动情况：不变

浙江银杏谷投资有限公司-景宁银杏谷壹号创业投资合伙企业(有限合伙)
持股比例：2.10 %，持股数量：112.50万 ，变动情况：不变

宁波瑞扬泓创业投资合伙企业(有限合伙)
持股比例：1.71 %，持股数量：91.50万 ，变动情况：不变

国泰中证半导体材料设备主题ETF
持股比例：1.70 %，持股数量：90.99万 ，变动情况：48.77万

费占军
持股比例：1.50 %，持股数量：80.00万 ，变动情况：-9.26万

华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF
持股比例：1.48 %，持股数量：79.05万 ，变动情况：新进

《《十大股东》》

柯汉奇
持股比例：19.75 %，持股数量：2636.67万，变动情况：不变

叶小龙
持股比例：19.75 %，持股数量：2636.67万，变动情况：不变

张道谷
持股比例：14.67 %，持股数量：1958.67万，变动情况：不变

深圳同创锦绣资产管理有限公司-深圳南海成长湾科私募股权投资基金合伙企业(有限合伙)
持股比例：3.66 %，持股数量：488.25万，变动情况：不变

上海国方私募基金管理有限公司-上海华虹虹芯私募基金合伙企业(有限合伙)
持股比例：2.85 %，持股数量：379.98万，变动情况：-53.65万

深圳市奇龙谷投资合伙企业(有限合伙)
持股比例：2.82 %，持股数量：376.67万，变动情况：不变

厦门市惠友豪嘉股权投资合伙企业(有限合伙)
持股比例：1.94 %，持股数量：259.13万，变动情况：-45.83万

深圳市众芯赢投资合伙企业(有限合伙)
持股比例：1.69 %，持股数量：226.00万，变动情况：不变

海通创新证券投资有限公司
持股比例：1.25 %，持股数量：166.88万，变动情况：不变

王日升
持股比例：0.87 %，持股数量：116.01万，变动情况：-8.34万

实控人：叶小龙

最终控制人：叶小龙