《《十大流通股东》》

中微半导体设备(上海)股份有限公司
持股比例：13.34 %，持股数量：2051.63万 ，变动情况：不变

华夏上证科创板50成份ETF
持股比例：7.20 %，持股数量：1108.39万 ，变动情况：51.35万

易方达上证科创板50ETF
持股比例：4.26 %，持股数量：654.60万 ，变动情况：140.18万

沈阳信息产业创业投资管理有限公司-沈阳信息产业创业投资有限公司
持股比例：3.03 %，持股数量：465.44万 ，变动情况：不变

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
持股比例：2.79 %，持股数量：428.54万 ，变动情况：2.60万

香港中央结算有限公司
持股比例：2.77 %，持股数量：425.75万 ，变动情况：73.76万

中合盛资本管理有限公司-青岛润扬嘉禾投资合伙企业(有限合伙)
持股比例：2.74 %，持股数量：421.53万 ，变动情况：-133.62万

中国人寿保险股份有限公司-传统-普通保险产品-005L-CT001沪
持股比例：2.34 %，持股数量：360.72万 ，变动情况：67.76万

华夏国证半导体芯片ETF
持股比例：2.08 %，持股数量：320.52万 ，变动情况：13.81万

诺安成长混合
持股比例：2.01 %，持股数量：309.34万 ，变动情况：新进

《《十大股东》》

国家集成电路产业投资基金股份有限公司
持股比例：19.77 %，持股数量：5502.67万，变动情况：不变

国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙)
持股比例：13.61 %，持股数量：3788.80万，变动情况：不变

中微半导体设备(上海)股份有限公司
持股比例：7.37 %，持股数量：2051.63万，变动情况：不变

华夏上证科创板50成份ETF
持股比例：3.98 %，持股数量：1108.39万，变动情况：51.35万

易方达上证科创板50ETF
持股比例：2.35 %，持股数量：654.60万，变动情况：140.18万

沈阳信息产业创业投资管理有限公司-沈阳信息产业创业投资有限公司
持股比例：1.67 %，持股数量：465.44万，变动情况：不变

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
持股比例：1.54 %，持股数量：428.54万，变动情况：2.60万

香港中央结算有限公司
持股比例：1.53 %，持股数量：425.75万，变动情况：73.76万

中合盛资本管理有限公司-青岛润扬嘉禾投资合伙企业(有限合伙)
持股比例：1.51 %，持股数量：421.53万，变动情况：-133.62万

中国人寿保险股份有限公司-传统-普通保险产品-005L-CT001沪
持股比例：1.30 %，持股数量：360.72万，变动情况：新进

实控人：--

最终控制人：--