《《十大流通股东》》

靖江优立佳企业管理合伙企业(有限合伙)
持股比例：18.99 %，持股数量：2057.11万 ，变动情况：-512.20万

聚源中小企业发展创业投资基金(绍兴)合伙企业(有限合伙)
持股比例：5.08 %，持股数量：550.47万 ，变动情况：-19.94万

中微半导体设备(上海)股份有限公司
持股比例：2.70 %，持股数量：292.70万 ，变动情况：不变

北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙)
持股比例：2.41 %，持股数量：260.89万 ，变动情况：不变

上海超越摩尔股权投资基金合伙企业(有限合伙)
持股比例：2.04 %，持股数量：220.59万 ，变动情况：不变

上海航空产业股权投资基金合伙企业(有限合伙)
持股比例：2.04 %，持股数量：220.59万 ，变动情况：不变

华泰先锋精科家园1号科创板员工持股集合资产管理计划
持股比例：1.82 %，持股数量：197.16万 ，变动情况：-188.02万

中微半导体(上海)有限公司
持股比例：1.53 %，持股数量：165.74万 ，变动情况：不变

长三角(嘉善)股权投资合伙企业(有限合伙)
持股比例：1.37 %，持股数量：148.47万 ，变动情况：新进

深圳市创新投资集团有限公司
持股比例：1.35 %，持股数量：146.35万 ，变动情况：新进

《《十大股东》》

游利
持股比例：16.02 %，持股数量：3242.43万，变动情况：不变

靖江优立佳企业管理合伙企业(有限合伙)
持股比例：10.00 %，持股数量：2023.80万，变动情况：-33.31万

上海英瑞启技术咨询有限公司
持股比例：9.26 %，持股数量：1874.47万，变动情况：不变

靖江优正企业管理合伙企业(有限合伙)
持股比例：7.75 %，持股数量：1569.28万，变动情况：不变

李欢
持股比例：5.73 %，持股数量：1159.00万，变动情况：不变

实控人：游利

最终控制人：游利