截至8月6日收盘，光刻机概念上涨2.64%，位居概念板块涨幅第9，板块内，32股上涨，洪田股份、海立股份等涨停，炬光科技、中船特气、新莱应材等涨幅居前，分别上涨16.21%、8.21%、7.78%。跌幅居前的有富创精密、百傲化学、芯碁微装等，分别下跌1.02%、1.00%、0.83%。
　　今日涨跌幅居前的概念板块
概念今日涨跌幅（%）概念今日涨跌幅（%）PEEK材料5.97辅助生殖-1.60中船系5.26细胞免疫治疗-1.55兵装重组概念4.66肝炎概念-1.54MLOps概念3.60流感-1.41国产航母3.35CRO概念-1.38人形机器人3.31医药电商-1.38减速器2.91仿制药一致性评价-1.30工业母机2.69减肥药-1.27光刻机2.64创新药-1.27成飞概念2.63生物疫苗-1.23　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入9.01亿元，其中，20股获主力资金净流入，8股主力资金净流入超3000万元，净流入资金居首的是海立股份，今日主力资金净流入3.68亿元，净流入资金居前的还有晶方科技、旭光电子、新莱应材等，主力资金分别净流入2.62亿元、2.14亿元、1.48亿元。
　　资金流入比率方面，旭光电子、海立股份、晶方科技等流入比率居前，主力资金净流入率分别为20.73%、16.01%、11.40%。（数据宝）
　　光刻机概念资金流入榜
代码简称今日涨跌幅（%）今日换手率（%） 主力资金流量（万元）主力资金净流入比率（%）600619海立股份10.0116.9536761.1416.01603005晶方科技5.6011.7626220.4011.40600353旭光电子5.208.9321382.7220.73300260新莱应材7.7818.7814849.137.80688146中船特气8.2112.924328.817.02688630芯碁微装-0.836.594287.614.22002549凯美特气4.1113.793732.083.13603800洪田股份10.018.683377.385.15301568思泰克5.1124.782188.724.10002008大族激光1.083.082081.392.62688167炬光科技16.2112.451830.431.68688268华特气体2.293.521766.837.68300293蓝英装备2.1014.011563.711.47688376美埃科技0.975.35871.826.79688409富创精密-1.022.59691.202.44002816*ST和科1.352.16322.698.29688199久日新材2.774.20270.191.63603738泰晶科技2.306.02269.620.73300331苏大维格3.337.4743.250.13301297富乐德1.895.6224.190.07688502茂莱光学2.629.58-25.64-0.05688195腾景科技0.452.55-152.93-0.99600850电科数字1.601.49-307.97-1.30300691联合光电1.724.46-395.25-2.10003031中瓷电子-0.070.88-419.57-2.55688307中润光学2.886.49-484.33-3.35300666江丰电子0.702.46-601.31-1.58003043华亚智能-0.243.00-792.41-7.26301611珂玛科技0.165.29-956.69-5.55300990同飞股份0.3111.20-1138.49-2.06603297永新光学2.131.87-1207.22-6.49300456赛微电子-0.056.67-1813.34-2.31300219鸿利智汇0.291.90-2075.11-22.17002889东方嘉盛0.128.50-2290.31-6.45603360百傲化学-1.001.29-2552.25-13.55300786国林科技1.4414.60-4172.63-12.21301421波长光电1.4820.75-4952.83-6.34600895张江高科2.909.07-12415.85-2.54（文章来源：证券时报网）