截至8月12日收盘，光刻机概念上涨2.26%，位居概念板块涨幅第2，板块内，25股上涨，海立股份、凯美特气等涨停，美埃科技、同飞股份、洪田股份等涨幅居前，分别上涨10.34%、8.38%、7.02%。跌幅居前的有中润光学、芯碁微装、思泰克等，分别下跌3.56%、3.56%、1.70%。
　　今日涨跌幅居前的概念板块
概念今日涨跌幅（%）概念今日涨跌幅（%）脑机接口2.37PEEK材料-1.58光刻机2.26稀土永磁-1.53中国AI 502.01MLOps概念-1.39国家大基金持股1.83动物疫苗-1.34光刻胶1.68重组蛋白-1.14深圳国企改革1.56转基因-1.12牙科医疗1.51DRG/DIP-1.12液冷服务器1.46细胞免疫治疗-1.10光纤概念1.43培育钻石-1.04共封装光学(CPO)1.42航空发动机-1.03　　资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入7.74亿元，其中，24股获主力资金净流入，5股主力资金净流入超5000万元，净流入资金居首的是海立股份，今日主力资金净流入4.43亿元，净流入资金居前的还有凯美特气、旭光电子、中船特气等，主力资金分别净流入3.56亿元、3.03亿元、7602.52万元。
　　资金流入比率方面，凯美特气、旭光电子、海立股份等流入比率居前，主力资金净流入率分别为32.90%、18.33%、11.62%。（数据宝）
　　光刻机概念资金流入榜
代码简称今日涨跌幅（%）今日换手率（%） 主力资金流量（万元）主力资金净流入比率（%）600619海立股份10.0021.5144321.5411.62002549凯美特气9.9912.0535645.2532.90600353旭光电子6.2412.7930265.8718.33688146中船特气6.2216.067602.529.02300260新莱应材3.1613.535203.313.76688167炬光科技3.657.543730.895.44603005晶方科技2.037.933272.472.09300293蓝英装备1.4310.982947.823.58301297富乐德3.308.792283.084.35300990同飞股份8.3811.352199.303.77688502茂莱光学4.469.652180.284.02300786国林科技0.879.491536.346.84300666江丰电子0.963.381146.982.19603297永新光学2.872.66910.863.39002889东方嘉盛1.805.59904.363.83688409富创精密-0.232.27866.853.56688376美埃科技10.348.50810.163.79688195腾景科技1.253.03794.374.50688199久日新材6.7714.64792.971.24600850电科数字-0.501.13664.423.71301421波长光电1.0814.98632.451.15301611珂玛科技3.2210.50593.231.71688307中润光学-3.564.26558.136.13688268华特气体1.763.493.340.01002816*ST和科0.001.44-23.27-0.92301568思泰克-1.7010.92-324.85-1.43003043华亚智能-1.092.53-463.99-5.07300691联合光电-0.102.18-472.22-5.18603360百傲化学-1.691.47-665.46-3.03003031中瓷电子0.111.25-950.22-4.04603738泰晶科技-0.832.77-1239.49-7.36688630芯碁微装-3.565.26-1772.35-1.85300456赛微电子-0.685.82-1795.16-2.58300219鸿利智汇-0.851.96-1884.54-19.38603800洪田股份7.0211.57-2801.02-2.34300331苏大维格-0.574.45-2896.06-14.08600895张江高科1.797.68-4548.71-1.07002008大族激光2.6018.29-52637.61-8.66（文章来源：证券时报网）